olemus
mikroskoopia haru,
pinnareljeefide ja pindade lokaalomaduste uurimiseks;
vahendid on
- füüsiline sond
- sondi tasand- või ruumskaneeriv nihkesüsteem
- tulemuste väljastuse süsteem

tehnoloogia
on umbes 30 liiki (+ alaliigid)
sondeeriv interaktsioon võib olla
- mehaaniline
- elektriline
- magnetiline
- termiline
- keemiline
- muu

vaatlusväli
aatomitest kuni 100 μm

eraldusvõime
10-100 pm

rakendused
(i) nanotehnoloogia:
- materjaliuuringud
- nanolitograafia
- nanostruktuuriga turvaelemendid
(ii) nanobioloogia:
- DNA
- bioloogilised nanorobotid

ülevaateid
https://www.youtube.com/watch?v=gxyMYrMZcLw

https://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_probe_microscopy

http://teachers.stanford.edu/activities/SPMReference/SPMReference.pdf

https://journals.aps.org/prl/scanning-probe-microscopy

http://www.dme-spm.com/anwendungen.html